Die regelmäßige Reinigung eines Reinraums ist als ein wichtiger Faktor zur Erhaltung der erforderlichen Luftreinheitsklasse im Reinraum weitestgehend bei den Nutzern von Reinräumen etabliert. Die Reinigung der sich im Reinraum befindlichen Maschinen wird dabei aber oft nur stiefmütterlich behandelt. Dabei sollte die Unterhaltungsreinigung der Maschinen fest in den Reinigungsplan aufgenommen werden, um die notwendige Reinheit der Maschine und des damit verbundenen Prozesses zu gewährleisten. Außerdem ist es für den Hersteller einer solchen Maschine zwingend notwendig, nur gereinigte Einzelteile und Baugruppen zu verarbeiten und damit die Maschine zu komplettieren. Die Möglichkeiten der Einzelteilreinigung werden dabei schon oft genutzt. Eine Reinigung im Ultraschallbad ist schon fast Standard.