Denkfehler 7: Die Luftreinheitsklasse ist von den eingesetzten Filtern abhängig

Denkfehler 7: Die Luftreinheitsklasse ist von den eingesetzten Filtern abhängig

Ja und nein. Sicherlich kann man mit einem einfachen Vorfilterelement ohne weitergehende Vorfiltration der Luft keine hohe Luftreinheitsklasse erreichen („hoch“ heißt „sehr sauber“). Auf Grund der physikalischen Abscheidemechanismen in Filterelementen und den prozentualen Abscheidegraden, nach denen ein jedes Filter spezifiziert ist, wäre es rein theoretisch im Umluftbetrieb möglich, nach einer entsprechend langen Zeit, alle Partikel aus der Luft gefiltert zu haben. Doch jeder Reinraum und jedes lokale Environment generiert Partikel aus unterschiedlichsten Quellen heraus, so dass sich ein Gleichgewicht mit einer entsprechenden Partikelkonzentration einstellen wird. Diese Quellen können Verunreinigungen auf Oberflächen sein, die sich lösen, Maschinen, Personal, oder einfach nur die lufttechnische Anlage, die die Luft umwälzt.

Die Luftreinheitsklasse ist demnach von einer Vielzahl von Einflußfaktoren abhängig, bei denen der Filter nur eine Komponente ist. Eine Zuordnung von Filterklasse (H13; H14; U15 …) zu entsprechenden Luftreinheitsklassen ist nicht möglich und auch nicht sinnvoll. Sicherlich verlangt man in der Halbleiterindustrie für Minienvironments nur noch U16-Filter. Brauchen tut man sie nicht zwingend. Der Grund liegt in der Risikominimierung, falls es einmal zu einem hohen Partikeleintrag kommen sollte. Stellen wir uns eine Reinraumumgebung der ISO-Klassifizierung ISO5 vor, in dem Minienvironments mit einer ISO1 im Innern aufgestellt werden sollen. Bei der ISO5 haben wir maximal 100.000 Partikel in der Größe von > 0,1 µm. Meist sind die Bedingungen aber besser. Bei einem H14-Filter mit einem Abscheidegrad von 99,995% (Durchlaßgrad von 0,005%) würde man sich in den Grenzen der Klasse ISO1 bewegen. Also: Ziel erreicht. Setzt man einen U16-Filter ein, dann erreicht man rein rechnerisch bei einem Durchlaßgrad von 0,00005 mehr als sicher die Klasse ISO1. Dies würde bedeuten, dass bei der Klassengrenze von 10 Partikeln > 0,1 µm nur noch 0,05 Partikel in einem Kubikmeter Luft zu finden sind und da es nur ganze Partikel gibt, sind dies 5 Partikel in 100 m³ Luft. Und wenn es jemand noch anschaulicher braucht, sind dies 5 Würfel a. 1 m³ Rauminhalt auf das 100-fache des Erdvolumens.

Doch wie gesagt, rein rechnerisch und unter der Voraussetzung, dass dieser Abscheidegrad über die gesamte Filterfläche erreicht wird und auch kein scheinbares Leck im Filtermedium existiert.

Erschienen in der Mikroproduktion 

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