Gerade in der Halbleiterindustrie ist man auf eine reine Produktionsumgebung angewiesen. Dies betriff nicht nur die partikuläre sondern auch molekulare Kontaminationen. Den im Reinraum eingesetzten Maschinen und verwendeten Materialien kommen für die Einhaltung der jeweiligen Reinheitsklassen und somit der Produktqualität eine entscheidende Bedeutung zu.